Питання 12 з 12

Запитання 12
У процесі LCVD (лазерне осадження з газової фази) що визначає швидкість утворення осаду в області високих температур?
Варіанти відповідей
Швидкість фотохімічного збудження молекул у газовій фазі.
Ентальпія утворення продуктів на поверхні.
Поверхневі хімічні перетворення, які завжди лімітують швидкість незалежно від температури.
Темп надходження реагенту (дифузійний процес), тобто доставка реагенту до поверхні.